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1. ケ、ラ様シ
1.1. 憙カネ」コ 5°C -- 35°C
1.2. 暃カネ」コ5 – 85%
1.3. 間エ」コAC 220±10%」サ50±0.5Hz
2. ヨ憙マ
2.1. 憙カネ」コハメ憙5°C -- 400°C
2.2. ウフミノ憙」コ7Aウフノ」ャソノ廼ウ16A
2.3. ヤレ5minκ」ャ焼400°Cスオ憙オス50°C
2.4. 憙カネセォカネ」コハメ憙テソイィモ1°C 」ャヨ憙マ莊ト憙カネイィモ」シ0.1°C
2.5. pヘィオタヨチハァムaヴ
3. シモ溂^(qィア)モ
3.1. ウヨ憙マ莽」ャモミ5ェ埣「オトシモ溂^(qィア)モ」ィ3゚M侖ソレ」ャ2凛忱ニ」ャ2ンoヨ^(qィア)」ゥ/ソノ廼ウ
3.2. ンoヨ^(qィア)オトラエ憙カネ」コ400°C
4. クト、エオ鶴フウ葷゚M侖ソレ
4.1. ハヨモソリヨニ下チヲ/チチソ」ィソノ゚xナ蓁陥モソリヨニ」ゥ
4.2. ラク゚憙カネ400°C
4.3. 下チヲヤOカィキカ」コ0」ュ100psi
4.4. 壺wチチソヤOカィキカ」コ0」ュ100mL/min
4.5. ソノモテモレ1/4”。「1/8”フウ葷コヘ0.53mmテォシ墮
5. キヨチ/イサキヨチ゚M侖ソレ
5.1. ソノメヤモテモレ50umオス530umオトノォラVヨ
5.2. キヨチアネラエソノオス3000:1
5.3. ハ。壺ト」ハスソノメヤケ(jiィヲ)シs壺wモテチソ」ィ゚xナ茱ゥ
5.4. EPCケヲトワ」ィ゚xナ茱ゥ。」
5.5. 陥モソリ下セォカネ」コ0.001 psi」ィヌァキヨヨョメサpsi」ゥ」ィ゚xナ茱ゥ
5.6. ラク゚憙カネ400°C
5.7. 下チヲキカ」コ0 -- 100psi
6. タ葷^゚M侖マオスy」ィ゚xナ茱ゥ
7. @ハセニチ
320*240モ「エ釉ミモ「ホト@ハセス酖」ャク゚mコマョaニキオトウソレ。」
8. 凛忱ニ
8.1壻サム跋xラモサッ凛忱ニ」ィFID」ゥ
ラク゚ハケモテ憙カネ」コ400。
ラミ。凛ウマ゙」コ≤2.5*10 -12 g/s(n-C16)
セミヤキカ」コ107」ィ±10%」ゥ
ヤツ≤5×10-14A
ニッメニ≤2×10-13 /30min
ラヤモcサキスハス」ィ゚xナ茱ゥ
8.2溂県凛忱ニ」ィTCD」ゥ
゚mナ萠ウ葷シーテォシ垰ワヨ
ラク゚ハケモテ憙カネ」コ300。
`テカネS≥3000mv.ml/mg」ィアス」ゥ
`テカネS≥5000mv.ml/mg」ィ゚xナ茱ゥ
`テカネS≥8000mv.ml/mg」ィ゚xナ茱ゥ
`テカネS≥10000mv.ml/mg」ィ゚xナ茱ゥ
セミヤキカ」コ105」ィ±5%」ゥ
ニッメニ」コ≤0.1mv/30min
ヤツ淵コ≤20uv
8.3サム貉筝ネ凛忱ニ」ィFPD」ゥ
ラク゚ハケモテ憙カネ」コ350。
ラミ。凛ウマ゙」コ<2*10 -11 g S/s, <9*10 -13 g P/s
セミヤキカ」コ>103 S, 104 P
ラヤモcサキスハス」ィ゚xナ茱ゥ
8.4陥モイカォ@凛忱ニ」ィECD」ゥ
ラク゚ハケモテ憙カネ」コ400。
ラミ。凛ウマ゙」コ≤1*10 -14 g/s
セミヤキカ」コ>5*105」ィ±5%」ゥ
キナノ蕚エ」コ<10 mCi, 63Ni
ホ「ウリヤOモ
8.5オェチラ凛忱ニ」ィNPD」ゥ
ラク゚ハケモテ憙カネ」コ400。
ラミ。凛ウマ゙」コ≤3*10 -12 g/s
セミヤキカ」コ105 N, 105 P
ラミ。凛忱マ゙」コ<2*10 -13 g N/s, <2*10 -13 g P/s
ラヤモcサキスハス」ィ゚xナ茱ゥ
9. 鳩フ実マオスy
9.1ヘ籔テノォラVケ、ラユセ
9.2κヨテノォラVケ、ラユセ」ィキエソリミヘ」ャ゚xナ茱ゥ
9.3ト」熱ユsマオスyワ崗」ィ゚xナ茱ゥ
9.4テコ壺溂ヨオマオスyワ崗」ィ゚xナ茱ゥ
9.5ニモヘPONAマオスyワ崗」ィ゚xナ茱ゥ
9.6ララコニス^セ箇ヘマオスyワ崗」ィ゚xナ茱ゥ
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